超純水系統的3個部分

 

　　随著(zhe)電子工業的發展，在芯片的生産加工過程中，對於水質的要求也越來越高。爲瞭(le)保證生産出超大規模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外，高純水也是其中關鍵的因素之一。高純水系統是将一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。

 

　　超純水系統總體來說一般可分爲三個部分：超純水制造區（CUB部分）；超純水抛光循環區（FAB部分）；超純水輸送管網（FAB各使用區）。在超純水系統中管材的選用也非常重要,既要能做到保證水質、又應該做到經濟合理。超純水系統中常用管材主要包括:PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超純水制造區預處(chù)理階段多採(cǎi)用PVC管或SUS304管

。

 

　　其中超純水制造區爲複雜其又可分爲：預處(chù)理、一次純水處(chù)理、超純水處(chù)理三個部分
。預處(chù)理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠(chǎng)商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池）；一次純水部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透；

 

　　超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器
、混床（MB）及終端過濾器。但是由於(yú)考慮到在向工藝線設備(bèi)輸送高純水過程中，輸水管道會對水質再次造成污染，因而在FAB内一般都設立抛光循環系統。抛光循環系統主要以MB爲核心，再加上超濾設備(bèi)（UF），以除去在向工藝生産線輸送純水的過程中，管網溶入水中的雜質。